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產(chǎn)品分類(lèi)
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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱(chēng):

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

描述:HORIBA/堀場(chǎng)CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì),為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA通過(guò)設(shè)計(jì)緊湊設(shè)備,以及通過(guò)其原有傳感器設(shè)計(jì)保持穩(wěn)定測(cè)量和確保操作人員安全,實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)大功能以滿(mǎn)足需求。
  • 更新時(shí)間:2025-11-17
  • 產(chǎn)品型號(hào):CS-900
  • 產(chǎn)品廠地:上海市
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):14

產(chǎn)品介紹

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

HORIBA/堀場(chǎng)CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)的產(chǎn)品詳情:

CS-900為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA通過(guò)設(shè)計(jì)緊湊設(shè)備,以及通過(guò)其原有傳感器設(shè)計(jì)保持穩(wěn)定測(cè)量和確保操作人員安全,實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)大功能以滿(mǎn)足需求。

產(chǎn)品特點(diǎn):

無(wú)接觸,高度穩(wěn)定

從外部將傳感器直接連接到PFA管路,實(shí)現(xiàn)無(wú)污染。這消除了在安裝傳感器時(shí)進(jìn)行管路施工的要求,從而減少化學(xué)事故。此外,通過(guò)升級(jí)光學(xué)系統(tǒng),設(shè)備變得更加緊湊,同時(shí)保留 CS-600F*1的原始規(guī)格。

高質(zhì)量、穩(wěn)定測(cè)量

無(wú)污染配備溫度補(bǔ)償功能,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量配備 HORIBA 原始算法,補(bǔ)償氣泡影響重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同

抑制振動(dòng)效應(yīng)

HORIBA 采用抗錯(cuò)位強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),與 HORIBA的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。

節(jié)省空間

光源和光學(xué)傳感器已集成至樣品單元。平板顯示器(9.6cm x 9.6cm)

光源壽命更長(zhǎng)

使用LED燈,延長(zhǎng)使用壽命(5 年質(zhì)保期)

提高工作安全性

每半年一次的背景校正補(bǔ)償周期安裝產(chǎn)品時(shí)無(wú)需安裝管路,有助于減少化學(xué)藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學(xué)藥液濃度計(jì)。

不使用光纖的光學(xué)設(shè)計(jì)和主機(jī),加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

對(duì)于寬溫度范圍(20℃ 至 80℃)的化學(xué)藥液,可進(jìn)行直接、穩(wěn)定的測(cè)量

穩(wěn)定性

測(cè)量條件測(cè)量頻率:每 3 秒移動(dòng)平均數(shù):16 次溫度:室溫管徑:3/4 英寸

初始樣品濃度

NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

測(cè)量結(jié)果

樣品(實(shí)際液體)測(cè)量1小時(shí),展示出良好的穩(wěn)定性。

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

易于裝卸

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

HORIBA/堀場(chǎng)CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)的產(chǎn)品參數(shù):

非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)

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